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2007.10.31

モニターウェハーって何?

リンク: IBM、半導体ウエハーをソーラーパネルに再利用 - ITmedia News.

IBMはウエハーの表面に印刷されたパターンを新技術によって完全に消去。工場内で計測用に必要となるモニターウエハーとして使用し、その後に太陽電池業界に向けて販売する計画。

モニターウェハーってのは、何だろう?
説明が無いので、良く分からん。

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コメント

愛読者です。
 本番の集積回路製造を行う前に、製造工程を色々調整する必要があります。例えば、基板の厚さ(の変動)に対する装置の許容度を計測します。そのために高規格・高価なウェハーを使うのはもったいないので、代わりに使うのが、安価なモニターウェハーです。
 太陽電池用途でも、単に機械的(+熱的)な仕様に合致した平面板でいいなら、モニターウェハーで十分ということですね。

投稿者: ksr (2007/10/31 14:37:59)

自分の意見への反論に対するレスは早いのに、親切に教えてくれる人への感謝のレスは後回しにされるようです。

投稿者: (2007/10/31 23:40:24)

14時の説明カキコなのに、23時に「後回しにされるようです」と書く人の方が、嫌み過ぎ。

投稿者: naos (2007/11/01 9:10:49)

> 14時の説明カキコなのに、23時に「後回しにされるようです」と書く人の方が、嫌み過ぎ。

Thanks.
Akashicさんの「書き捨て•読み捨て記事は無能者」に同感です。
http://www.akashic-record.com/y2007/fcabin.html
カキコが遅れたっていいじゃないですか。

投稿者: ksr (2007/11/01 11:49:21)

やっぱり、何に使うか分からないので、もうちょっと調べてみたところ、以下の特許を見つけました。要するに、「試し切り」するためのウェハってことなんですね。

http://www.j-tokkyo.com/2006/B24B/JP2006-102830.shtml
>従来の運用では、目立て部材自体の寿命には個体差があるため、使用時間固定で目立て部材を交換すると寿命が短くなり、まだ使用可能な目立て部材を交換することになる。また、寿命が短い目立て部材の場合、モニターウェハでの研磨レート低下を確認して目立て部材を交換するために、モニターウェハを用いたプロセス確認時まで目立て部材の劣化が発見できず、製品での研磨異常を発生させ、事前に検知できない問題がある。

投稿者: Beyond (2007/11/01 15:04:19)

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